AJI

AJI Micro Assembly Robots

製品紹介: Type 2, Type 10, Type 40, Type 3000, MWC6000, AJI200 Inspection

AJIのMicro WorkCellシリーズは、マイクロファクトリーを実現する超小型、高精度な超精密部品組立装置です。豊富な周辺オプションを組み合わせることで、±１μｍの高精度を低価格にてご提供致します

Type-2

ダウンロード　ビデオ(~5.4MB; 写真を右クリックして保存すると動画を観ることができます): type2-movie.wmv

Type-10

ダウンロードType10の大量生産　ビデオ (~4.3MB; 写真を右クリックして保存すると動画を観ることができます): type10-movie.wmv

Type-40

Data Sheet

Type-3000

ダウンロード　ビデオ　(~2.7MB; 写真を右クリックして保存すると動画を観ることができます): type3000-movie.wmv

MWC6000

Data Sheet

AJI200 Inspection

Data Sheet

特長

高精度

高精度：±1μm

コンパクト

* コンパクト設計：A4サイズ／35kg(Type10)

高い剛性

ボールベアリングやボールネジの構成部品を特殊加工する技術により、バックラッシュやクロストークを限りなくゼロに近づけています。また、外部から装置各部に影響を与える応力変化と駆動メカニズムの関係を解析することにより、構成部品の理想的な組み付け方を確立しました。これにより、外部振動はこの装置全体を振動させるに留まり、各々の駆動メカニズムには影響を与えないため、石定盤やエアダンパーなどの耐震装置は不要です。

低加圧制御

独自のフォースコントロールユニットをフローティング機構に採用しており、数グラムの低加圧を実現することで、ワークへのストレスを最小限に抑えます。また、熱処理の環境においてコレット（部品吸着部）が高温になっても、エアーシンリンダー内の温度は変化せず、ほぼ一定に保たれます。このため、温度上昇によるシリンダー内の膨張は起こらず、安定した低加圧を実現できます。

ビジョンサーボ

サブマウントのマークとパーツの両方を同時に見ながら搭載する独自のVisionServoシステムを採用することで、設置環境に左右されることなく、±１μｍの精度を実現します。図は、ワークがサブマウントに着地する寸前に、DieのエッジとSubmountのアライメントマークのズレを見ながら自動的に補正をかけた後、DieのエッジとSubmountのマークを重ね合わせている状態を表しています。

モジュール化

多彩なオプションキットを自由に組み合わせることでお客様のニーズに合ったシステムを構築することができます（詳細はオプションキット表をご覧下さい）。

スペック

Option Kits

オプションキット	（一例）
① 突き上げユニット	リングシート上のワークをピックアップするための下方からの突き上げ機構です。
② カメラＺ軸ユニット	カメラＺ軸を取り付けることで対象ワークの高さが変わってもカメラ焦点を合わせることができます。
③ 下方カメラユニット	上からでは見えない下面のアライメントマークなどを認識するための下方カメラユニットです。
④ 特殊カメラユニット	ＵＶカメラなど特殊なカメラもサポートします。
⑤ ディスペンサユニット	銀ペーストの塗布やＵＶ接着剤の塗布などに使用するディスペンサユニットです。
⑥ ＵＶ照射ユニット	ＵＶ硬化のための紫外線照射ユニットです。
⑦ Ｎ２パージユニット	Ｎ２パージを行うことで安定したハンダでの固定をサポートします。
⑧ ベース加熱ユニット	ステージ側の加熱ユニットです（～３５０℃）。
⑨ チャック加熱ユニット	ワーク用のチャックを加熱するユニットです（～３５０℃）。
⑩ 特殊照明ユニット	下方からの透過照明や特殊なＬＥＤ照明など幅広くサポートします。
⑪ 高分解能Θステージユニット	Θステージの超精密タイプで、小型リニアモーター（Ｘ－Ｙ－Θ）の組み合わせで０．１μｍのオーダーに対応します。
⑫ コンベアユニット	フリーフローコンベアなど前後の工程のつなぎにも対応します。
⑬ 供給トレイユニット	ワーク供給用トレイをセットするためのユニットです。　ウェハー：最大６インチ　ワッフルトレイ：最大６インチ　ゲルパック
⑭ トレイ供給／取出しユニット	ワーク供給用トレイの供給と取出しを小型６軸ロボットで行うことで、装置の自動化を実現します。
⑮ リングシートユニット	リングシートをセットするためのユニットです。

お客様のご要望により、多様なオプション

ビジョン

マシン　ビジョン　ソフト
トルゥージオメトリック　オブジェクト　ロケーション
高性能ビジョンによるいろいろな利点

制御ソフト

ＡＩＭ（Assembly Information Managment）ソフトウエアは、ソフトウエア開発工数を大幅に削減するために開発された強力なアプリケーション開発ツールです。